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SEMI S2
作者:admin 日期:2023年10月08日 來源:www.wauyljb.cn  【字體: 】 點擊:

 

 

SEMI S2 Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
半導體制造設備的安全衛生及環保標準

SEMI S2 設備安全評估:
SEMI S2針對半導體制造設備的環境、健康及安全標準要求,涉及電氣、機械、防火、化學、輻射、噪音、防震等各方面的安全領域,代表了全球半導體行業的基本安全要求。

SEMI S 系列標準介紹:
半導體設備SEMI認證評估是根據SEMI國際標準環境健康和安全委員會(EHS TC)制定的S系列全球性行業標準和準則,適用于半導體材料和制造設備,是半導體業界對設備的必備規格要求,可有效降低危害風險。 SEMI S 系列標準最早誕生于1986年,其中SEMI S2 于1991年發布出版,經過歷年更新修訂,2018年12月發布最新英文版本S2-0818E。半導體行業為了降低危險,采用非常多類別的防制與管理措施,SEMI S系列標準旨在為半導體生產設備提供環境、健康、安全方面的導則。內容涵蓋半導體設備安裝指導、廢氣處理、危險警告標簽、液體加熱系統、通風排氣、資質評估、人機工程、危險評估、生產設備凈化、安全指導手冊、防火安全、安全聯鎖系統電子設計、電離輻射、激光輻射等級、噪音污染等級,SEMI 標準被廣泛應用于半導體產品的生產、測試、集成。 其中最典型的措施是在采購設備系統時,將SEMI S2安規認證、SEMI F47電壓暫降、SEMI S23能效列為必備的規格要求。


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